利用案内

お問い合わせ

 本施設の利用を希望される場合は,利用申込書(様式1及び2)をダウンロード(学内のみ)して本施設の事務室に提出してください。また,本施設は,微細加工ナノプラットフォーム事業を推進しており,この事業を通して各種の支援を行っていますので,ナノプラットフォーム事業への申請もお願いします。なお,学外の方は,ナノプラットフォームに申請いただくことで施設をご利用いただけます。

 本施設の入退出は,カードゲートで管理されていますので,利用者は学生も含めて,全員の登録をお願いします。施設の利用の方法については,利用ガイドをダウンロード(学内のみ)して熟読してください。

 クリーン度の維持,超純水,機器冷却水,高圧ガスなどの維持管理には,利用者全員がルールを守って利用いただくことが必須です。時間外にクリーンルームを利用される場合には,時間外利用申請書をご提出下さい。

 

利用申込書 DL 利用ガイド DL 時間外利用申請書 DL
  利用ガイド 利用申込書1

【微細加工ナノプラットフォーム事業について】

 本施設は,名古屋大学のプラズマナノ工学研究センター,ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(VBL)とともに文部科学省の微細加工ナノプラットフォーム事業に参画しております。本事業は,産官学の多様な利用者による設備の共同利用を促進することで,さまざまな技術的課題の解決へのアプローチを提供するとともに,異分野融合の研究を推進しています。本施設の装置の多くは,ナノプラットフォーム事業の登録装置として,維持費などについてサポートを受けていますので,本施設の利用者には,ナノプラットフォーム事業への利用申請もお願いしております。

 詳細は,下記,微細加工ナノプラットフォーム事業のホームページをご覧下さい。

微細加工PF

 

【利用料】

1. ナノプラットフォーム事業の支援装置を利用いただく場合は,利用時間に応じた利用料を徴収しております。
2. 先端技術共同研究施設では,施設への入室時間に応じて,利用料を徴収しますが,ナノプラットフォームの装置を利用した時間は,差し引いた額を請求いたします。
※ 詳細は,ナノプラットフォーム事務局にお問い合わせ下さい。

 

 

 

電話: 052-789-5465

受付時間: 平日 AM 10:00 〜 PM 4:00